在半導(dǎo)體制造工藝中，生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度有著極高要求，即便是納米級(jí)的氣態(tài)分子污染物（AMC）也會(huì)對(duì)制程造成干擾，導(dǎo)致產(chǎn)品良率顯著下降。因此，使用實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)已成為半導(dǎo)體工業(yè)質(zhì)量控制體系中至關(guān)重要的技術(shù)保障環(huán)節(jié)。

傳統(tǒng)的分析方法因涉及冗長(zhǎng)的采樣流程與復(fù)雜的樣品預(yù)處理環(huán)節(jié)，往往無(wú)法在短時(shí)間內(nèi)輸出分析數(shù)據(jù)，致使產(chǎn)線無(wú)法實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)與工藝調(diào)控。而億天凈化AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)憑借其ppb級(jí)超高靈敏度特性，成為半導(dǎo)體制造環(huán)境實(shí)時(shí)監(jiān)控的理想解決方案。

AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是什么？

AMC在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可對(duì)潔凈區(qū)域中的環(huán)境進(jìn)行AMC監(jiān)測(cè)，配合信號(hào)控制箱、監(jiān)測(cè)服務(wù)器電腦、軟件、泵、多路采樣器以及根據(jù)廠房的實(shí)際情況配全相應(yīng)的數(shù)據(jù)線電源線等輔材，可實(shí)現(xiàn)環(huán)境中的AMC實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)顯示、存儲(chǔ)、歷史查看、圖表分析等功能，滿足半導(dǎo)體潔凈廠房環(huán)境數(shù)據(jù)的管理需求。

AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

1. 通過(guò)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)對(duì)AMC物質(zhì)濃度監(jiān)測(cè)，建立預(yù)警系統(tǒng)；

2. 部分監(jiān)測(cè)物質(zhì)檢出限可達(dá)ppt級(jí)別；

3. 針對(duì)RC、CxF、TVOC等物質(zhì)具備定制化功能；

4. 提供實(shí)時(shí)在線歷史數(shù)據(jù)查看和數(shù)據(jù)圖標(biāo)趨勢(shì)分析;

5. ESKY公司具備CNAS資質(zhì)實(shí)驗(yàn)室，可進(jìn)行數(shù)據(jù)手工校驗(yàn);

6. 遠(yuǎn)程控制，支持 TCP/IP 以及 485 連接到現(xiàn)有上位機(jī)。

AMC化學(xué)污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)配置